juuriruuvipumppu yksikkö puolijohteiden valmistukseen

Roots-ruuvipumppu koostuu Roots-tyhjiöpumpusta ja ruuvipumpusta, jotka on kytketty sarjaan tehokkaan pumppausfunktion toteuttamiseksi, ja se on yksi tärkeistä laitteista teollisessa tuotannossa ja tieteellisessä tutkimuksessa.

Kuvaus

Roots-ruuvipumppu yhdistää Roots-pumppujen ja ruuvipumppujen vahvuudet ja tarjoaa puhtaan, tehokkaan ja öljyttömän tyhjiöratkaisun vaativiin teollisuus- ja laboratoriokäyttökohteisiin. Gap-tiivisteen ja voiteluöljyn puuttumisen ansiosta nämä pumput säilyttävät korkean puhtauden ja poikkeuksellisen suorituskyvyn koko käyttöiän ajan.

Roots-ruuvipumppuyksikön toimintaperiaate

  • Ruuvipumppu (esivaihe):Toimii esivaiheen pumpuna, joka tarjoaa korkeat pumppausnopeudet ja matalan poistoilman paineen. Tarkka ruuviväli takaa mekaanisen puristuksen, joka varmistaa tehokkaan, hiljaisen ja tärinättömän toiminnan.
  • Roots-tyhjiöpumppu (pää-/välipumppu):Synkronisesti pyörivät kaksoisroottorit siirtävät pakokaasun imukammiosta pakokammioon. Rakosuojaus estää öljyn saastumisen ja ylläpitää puhtaan tyhjiöympäristön.
  • Sarjakäyttö:Molemmat pumput toimivat sarjassa, ruuvipumppu parantaa tyhjiötasoa ja Roots-pumppu varmistaa vakaan, jatkuvan pumppaustehokkuuden.

Suorituskyvyn edut

  1. Energiansäästö:Optimoitu pumppausnopeuden ja tyhjiöasteen suhde vähentää virrankulutusta ja ylittää perinteiset tyhjiöjärjestelmät energiatehokkuudessa.
  2. Korkea tehokkuus:Saavuttaa yli 90 %:n pumppaustehokkuuden ja tuottaa korkean tyhjiötason alhaisella energiankulutuksella erilaisissa prosesseissa.
  3. Turvallisuussuojaus:Edistyksellinen ohjausjärjestelmä, jossa on automaattinen käynnistys/pysäytys, ylikuormitus-, ylivirta- ja vedenkatkaisusuojaus, takaa pitkäaikaisen vakauden.
  4. Kompakti rakenne:Pystysuora pinoaminen tai tikkaatrakenteinen rakenne minimoi tilantarpeen, mikä on ihanteellista tilaa rajoittavissa tehtaissa ja laboratorioissa.
  5. Joustava kokoonpano:Säädettävä pumppujen välinen pumppausnopeussuhde (1:2–1:8) mukautuu erilaisiin työvaatimuksiin.
  6. Korroosionkestävyys:Ylivuotopinnat on käsitelty tai valmistettu korroosionkestävistä materiaaleista, joten ne soveltuvat syövyttävien kaasujen poistoon ja käyttöön vaativissa olosuhteissa.

Sovellusalueet

  • Kemianteollisuus:Haihtuvien orgaanisten liuottimien ja kaasujen poistaminen sekä käyttö tyhjiöreaktoreissa – laajalti käytetty kemian- ja lääketeollisuuden prosesseissa.
  • Puolijohteiden valmistus:Tukee tyhjiöpinnoitus-, puhdistus- ja etsausprosesseja.
  • Elintarviketeollisuus:Välttämätön elintarvikkeiden pakkaamisessa, kuivauksessa ja tyhjiökuivausprosesseissa.
  • Metallurgiateollisuus:Poistaa kaasua metallurgisista uuneista ja laboratorioista sulatusprosessien vakauttamiseksi.
  • Laboratorio- ja tieteellinen tutkimus:Ihanteellinen tyhjiökokeisiin ja kaasun talteenottoon tieteellisissä ympäristöissä.
  • Elektroniikkateollisuus:Käytetään integroitujen piirien valmistuksessa, näytön tyhjiöpäällystämisessä ja muissa elektroniikan valmistusprosesseissa.